Load Port

Load Port氮气版（晶圆装卸机/晶圆载入机）：为EFEM 3大件之一，被安装在EFEM* 前（设备前端模块：Equipment Front End Module)，用来作为wafer进出EFEM的窗口；用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块； 支持卓越的可靠性和超净性能；最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

✱Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）的主要特点

1. 适用8~12寸半导体EFEM设备，卡塞规格(Cassette Type):

   8寸Cassette 、12寸25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；

2. 放置标准(Mounting): SEMI E63；

3. 开启方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；

4. 平台高度标准(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63； 

5. 内置凸出检测；

6. RFID自动识别（选配）；

7. 操作安全防护报警,斜插检测、叠片检测、凸片检测功能；

8. 封闭式作业环境;

9. 已通过SEMI S2认证; 

10. E款有充氮气功能

✱Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）的主要配置
载台移载单元；
自动开盖单元；
RFID读取单元；
安全防护系统；
运动控制系统；
模块化设计；

有了冲氮气保护功能可选；