Wafer Transfer TS-1200

全自动 Wafer 传送，可用于 12 寸 wafer 进行整理、分并、 合并，半导体各生产设备的上料、下料，FOSB、FOUP 相互 交换等。

主要特点

1. 采用双臂 Wafer 搬运机器人；

2. 可采用 SEMI 标准 Load Port；

3. 非接触式 Pre Aligner；

4.Wafer ID Reader（可选）

5. 模块化设计，可实现多工艺搭配使用；

主要配置

·双臂 Wafer 搬运机器人，非接触 Pre Aligner，Wafer ID Reader，SEMI 标准 Load Port

规格参数