咨询热线
400-676-9119

夹持寻边器

产品中心 > 半导体系列 > 夹持寻边器

夹持寻边器

主要特点:

1.适用于半导体生产设备、检测设备的晶圆位置预校准;

2.非接触式预定位晶圆(边缘夹持式)

3.兼容SEMI标准 200~300mm晶圆&透明晶圆(中心无镂空);

4.兼容SEMI标准Notch;

5.晶圆厚度要求:>500um;

6.可定中心及找Mark(Flat Edge/Notch)标志;

8.暂不支持中心有镂空的晶圆;

9.串口类型RS232;

主要配置:

•内置模块化步进电机、驱动和脉冲发生器

•串口类型:RS232

•模块化设计


姓名
电话号码
电子邮箱
公司名称
地址
留言*
 
验证码
提交