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晶圆校准器的主要配置有哪些?

栏目:公司新闻 发布时间:2024-11-19
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今天我们来聊聊蚨祺自动化的晶圆校准器有哪些主要配置。

晶圆校准器,本设备实现高精度高效率的4-12寸晶圆Wafer的中心以及平边(缺口)的预定位,服务于晶圆Wafer的传送搬运需求。

晶圆校准器有哪些主要配置:
Laser sensor
内置模块化步进电机、驱动和脉冲发生器
串口类型:USB串口
模块化设计