晶圆校准器,本设备实现高精度高效率的4-12寸晶圆Wafer的中心以及平边(缺口)的预定位,服务于晶圆Wafer的传送搬运需求。
晶圆校准器有哪些主要配置:Laser sensor内置模块化步进电机、驱动和脉冲发生器串口类型:USB串口模块化设计