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Wafer Transfer TS-1200

全自动 Wafer 传送,可用于 12 寸 wafer 进行整理、分并、 合并,半导体各生产设备的上料、下料,FOSB、FOUP 相互 交换等。

主要特点

1. 采用双臂 Wafer 搬运机器人;

2. 可采用 SEMI 标准 Load Port;

3. 非接触式 Pre Aligner;

4.Wafer ID Reader(可选)

5. 模块化设计,可实现多工艺搭配使用;

主要配置

·双臂 Wafer 搬运机器人,非接触 Pre Aligner,Wafer ID Reader,SEMI 标准 Load Port

规格参数


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