Pre-aligner:中文名:视觉寻边机,晶圆预定位系统视觉版、晶圆校准器,本设备实现高精度高效率的6-12寸晶圆Wafer的中心以及平边(缺口)的预定位,服务于晶圆Wafer的传送搬运需求。我们的视觉寻边机,定中心的精度是01mm以内,定Notch精度是±0.35度,定Flat精度是±0.35度,适用于,透明,半透明,非透明的缺角,平边,多边形等晶圆片。
主要特点:
1.适用于半导体生产设备、检测设备的晶圆位置预校准;
2.非接触式预定位晶圆;
3.兼容SEMI标准 150~300mm晶圆&透明晶圆(中心无镂空);
4.兼容SEMI标准Notch/ Flat;
5.兼容透明晶圆(D款);
6.可定中心及找Mark(Flat Edge/Notch)标志;
7.读码位置:6-12寸可背面读刻号,6寸以下仅正面读刻号;
8.暂不支持中心有镂空的晶圆;
9.SEMI S2认证
主要配置:
•PC视觉系统
厦门蚨祺自动化设备有限公司的这套视觉寻边机,有其特色功能配置和特点,能很好的满足现在许多工厂在实现交互操作的需求,具有很大的市场空间。