Load Port的主要配置
栏目：公司新闻
发布时间：2022-06-06
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Load Port：中文名：晶圆装卸机/晶圆载入机，是厦门蚨祺自动化设备有限公司自主研发的一套智能自动化设备系统，有助于企业搬运和传送作业。
Load Port：中文名：晶圆装卸机/晶圆载入机，是厦门蚨祺自动化设备有限公司自主研发的一套智能自动化设备系统，有助于企业搬运和传送作业。
✱Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）的主要配置：
载台移载单元；
自动开盖单元；
RFID读取单元；
安全防护系统；
运动控制系统；
模块化设计。
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