Load Port的主要特点

Load Port：中文名：晶圆装卸机/晶圆载入机，是厦门蚨祺自动化设备有限公司自主研发的一套智能自动化设备系统，有助于企业搬运和传送作业。

✱Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）有以下主要特点：
1.适用卡塞规格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31；
2.放置标准(Mounting): SEMI E63；
3.开启方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ；
4.平台高度标准(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63；
5.内置凸出检测；
6.RFID自动识别；
7.操作安全防护报警；
8.封闭式作业环境

✱Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）的主要配置：
载台移载单元；
自动开盖单元；
RFID读取单元；
安全防护系统；
运动控制系统；
模块化设计。