Load Port:中文名:晶圆装卸机、晶圆载入机,被安装在EFEM* 前(设备前端模块:Equipment Front End Module),用来作为wafer进出EFEM的窗口;用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块; 支持卓越的可靠性和超净性能;最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。 那么蚨祺的这套自动化设备价格为什么会相对较高呢?因为有的客户需求为非标准化定制。
Load Port非标化生产价格相对高的具体原因如下:
1、非标自动化设备可以依据客户的需求来做设计,让设备达到客户想要的作用,在可完成的技术水平范围内满足客户的各种要求。不同类型客户其工艺要求均不相同,定制制造从拿到数据--设计--出方案--采购材料--出产--安装耗时会比规范自动化设备要更长一些。
2、非标自动化设备更注重模块化:由于每个使用者都可以依据自己的不同需求进行产品的定制。非标自动化设备在这方面就充分体现了其优越性,由于只有一个模块,所以能够更好的发挥这个模块的功能。