双SMIF晶圆检查机
双SMIF晶圆检查机
全自动Wafer传送，SMIF→Robot→Pre-Aligner→Macro Inspection→Micro Inspection→SMIF，Wafer的宏观与微观检测。
主要功能：
·采用双臂Wafer搬运机器人
·采用SEMI标准SMIF
·Pre Aligner可选读码功能
·Wafer ID Reader（正、背面）
·模块化设计，可实现多工艺搭配使用
·宏观正背面检查
- 姓名
- 电话号码
- 电子邮箱
- 公司名称
- 地址
- 留言*
上一个：
双Load Port晶圆检查机
下一个：
视觉寻边机/晶圆寻边器
