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Load Port(晶圆装卸机/晶圆载入机)

Load Port:中文名:晶圆装卸机、晶圆载入机,被安装在EFEM* 前(设备前端模块:Equipment Front End Module),用来作为wafer进出EFEM的窗口。

Load Port被安装在EFEM* 前(设备前端模块:Equipment Front End Module),用来作为wafer进出EFEM的窗口;用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块; 支持卓越的可靠性和超净性能;最大程度地实现交互操作性,无缝互换性和易于配置;与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱(FOSB)兼容;在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。

 

✱Load Port(晶圆装卸机/晶圆载入机)的主要特点

1.适用卡塞规格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31;
2.放置标准(Mounting): SEMI E63;
3.开启方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ;
4.平台高度标准(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63;
5.内置凸出检测;
6.RFID自动识别;
7.操作安全防护报警;
8.封闭式作业环境;


✱Load Port(晶圆装卸机/晶圆载入机)的主要配置
载台移载单元;
自动开盖单元;
RFID读取单元;
安全防护系统;
运动控制系统;
模块化设计。

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