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双臂晶圆传送机械手

晶圆传送手臂,适用卡塞规格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31;

   主要特点

1.牙叉为陶瓷或者碳纤维牙叉

2.控制采用正运动控制模式;

3.模块化设计,兼容各种机台配置

4.可根据需求增加走行轴

5.可在牙叉上增加自动Mapping 功能;

6.操作安全防护报警;

7.封闭式作业环境;

主要配置

 •  升降伺服单元,Z-Axis: ±0.05mm ;

 •  旋转伺服单元,R-Axis: ±0.05 ° ;

  •双臂Y轴伺服单元,T-Axis: ±0.05 mm ;

  •运动控制系统;


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