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Review Station

此设备用于晶圆表面缺陷AOI检测和分选,操作员仅需定时少量的复判即可。提高了Throuthput,避免人员接触wafer,降低客户TCO。

 主要功能:
   传送功能定制(全检抽检定制,Port定位防呆,6寸8寸定位切换,Map功能实现,Pre Aligner功能的实现,notch和flat定位,宏观检的实现(光源人检)及可操作性,插臂传送稳定可靠性,宏观微观可Pass等等)

   6寸8寸Emap的功能实现:自动生成或修改Emap文件,精准定位, 1分25秒的晶圆全检,能够检测脏污、划痕、漏模等缺陷,取图存图复检(硬盘容量大),图片清晰,图片返检不影响机台运行,可回溯不良Die人检及定制,物镜切换兼容大小die size等等


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