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全自动刮边机 DS-0305

对 于 小 于 200um 的 Die, 我 们 需 要 剔 除 边 缘 3-5mm 范围的 Bad Die 将是一件费时费力的工作, 全自动刮边机可根据 Map 或者绷膜环上画的界限快 速将边缘 Bad Die 从蓝膜上剔除

主要特点

1. 根据 Map 数据 / 蓝膜上画线视觉自动识别寻迹,自动将 Bad Die 刮除;

2. 最快速度可达 90S/ 片;

3. 对应最小 Die Size:80um;

4.XY 轴采用直线电机(带光删尺);

5. 大量节省人力成本;

主要配置

·象限路径规划 CCD 相机装置

·微观晶粒路径 CCD 相机装置

·堆栈式伺服上料装置

·高精度东方马达 Z 轴刮刀机构

·上银直线电机定位系统

·真空收集 NG 晶粒回收装置

规格参数

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