load port的产品外观展示及设备演示

蚨祺 ＃ load port ＃ 晶圆载入机 ＃ 晶圆装卸机

打破国外技术垄断！价格只要国外产品一半不到！进口替代最佳产品！
已获得SEMI S2认证！

Load Port：中文名：晶圆装卸机、晶圆载入机，被安装在EFEM* 前（设备前端模块：Equipment Front End Module)，用来作为wafer进出EFEM的窗口；用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块； 支持卓越的可靠性和超净性能；最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。