半导体智能化设备正在打造无人车间

伴随着机械自动化的崛起，数智化的出产制作模式已是大势所趋。当下，自动化及柔性出产是制作业企业正在致力于去实现的目标，引入移动智能化设备是半导体职业进步工厂自动化与信息化的要害行动。在万亿的半导体产业，智能自动化设备正在协助打通出产与物流的自动化，不只能够习惯高频的产线变化，还能降低出产成本。不过，值得注意的是，半导体职业的作业环境亦对自动化设备提出了非常严苛的要求，如要求不影响产线节拍、清洁作业、防震作业、高精度作业等。
       在半导体产线当中，能够同时实现“四肢”两项功用的复合型机器人，现已逐渐成为了半导体职业使用中被广泛使用的老练智能设备。相同的，对于移动机器人企业而言，半导体职业相同也是极具想象空间的红海商场。
       在半导体行业，厦门蚨祺自动化设备有限公司的Pre-aligner和Load Port在为企业实现传送搬运自动化车间有很大帮助。

Pre-aligner：中文名：晶圆预定位系统、晶圆校准器，本设备实现高精度高效率的4-12寸晶圆Wafer的中心以及平边（缺口）的预定位，服务于晶圆Wafer的传送搬运需求。

Load Port：中文名：晶圆装卸机、晶圆载入机，被安装在EFEM* 前（设备前端模块：Equipment Front End Module)，用来作为wafer进出EFEM的窗口。用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块； 支持卓越的可靠性和超净性能；最大程度地实现交互操作性，无缝互换性和易于配置；与所有手动或通过AMHS车辆交付的符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装运箱（FOSB）兼容；在搬运过程中用来保持wafer的洁净度。
       相信在不久的将来，半导体智能化设备打造出无人车间，将会给企业用工成本降低带来巨大红利。